項目

規(guī)格

型號

TH11

儀器功能

在線銅厚檢測 

測量板尺寸

200mm * 220mm — 650mm * 620mm

測量板厚度

0.05mm - 12mm

銅厚測試范圍

0.1- 120μm

銅厚測試區(qū)面積

＞10mm*15mm

銅厚測試精度

±5%

銅厚測試控制器

FISHER（MMS PC2 BU）

銅厚測試探頭

FISHER（PROBE ERCU N）

測試效率

6point：6-9S/pc ， 18poin：10-13S/pc

測試點定位精度

±3mm

測試點

1.Dir導?測試點

2.Gerber導?測試點

3.軟件指定，均布5點，9點

平臺輸送速度

 6M/min、12M/min

統(tǒng)計功能

yes

收板功能

選配

?作環(huán)境溫度

 22±3℃

電源要求

AC220V 50HZ

氣源要求

0.6-0.8Mpa

功率

2KW

重量

500KG

外形尺?

 L*W*H（mm）1536*1245*1420(平臺900)